ಉತ್ತಮ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಪವರ್ ಸಪ್ಲೈ ಮಾಡ್ಯೂಲ್ SPD-3A

1. ಯಾಂತ್ರಿಕವಾಗಿ ಮುದ್ರಣ (ಸೂಪರ್-ನಿಖರವಾದ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ವೇಫರ್ ಮುದ್ರಣ)

2. ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಮೊದಲ-ಎಚ್ಚಣೆ (ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಎಚ್ಚಣೆ ಉಪಕರಣ, CPK> 1.67)

3. ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಧ್ರುವೀಯತೆ ಪರೀಕ್ಷೆ (ನಿಖರ ಧ್ರುವೀಯತೆ ಪರೀಕ್ಷೆ)

4. ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಅಸೆಂಬ್ಲಿ (ಸ್ವಯಂ-ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಿದ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ನಿಖರ ಅಸೆಂಬ್ಲಿ)

5. ಬೆಸುಗೆ ಹಾಕುವಿಕೆ (ಸಾರಜನಕ ಮತ್ತು ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ನಿರ್ವಾತ ಬೆಸುಗೆಯ ಮಿಶ್ರಣದೊಂದಿಗೆ ರಕ್ಷಣೆ)

6. ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಎರಡನೇ-ಎಚ್ಚಣೆ (ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಶುದ್ಧ ನೀರಿನಿಂದ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಎರಡನೇ-ಎಚ್ಚಣೆ)

7. ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಅಂಟಿಸುವುದು (ಏಕರೂಪದ ಅಂಟಿಸುವುದು ಮತ್ತು ನಿಖರವಾದ ಲೆಕ್ಕಾಚಾರವನ್ನು ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ನಿಖರವಾದ ಅಂಟಿಸುವ ಸಾಧನದಿಂದ ಅರಿತುಕೊಳ್ಳಲಾಗುತ್ತದೆ)

8. ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಉಷ್ಣ ಪರೀಕ್ಷೆ (ಥರ್ಮಲ್ ಪರೀಕ್ಷಕರಿಂದ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಆಯ್ಕೆ)

9. ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಪರೀಕ್ಷೆ(ಬಹುಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಪರೀಕ್ಷಕ)